Um möglichst ungestörte Oberflächen untersuchen zu können, wird sehr gutes Vakuum benötigt. Mit modernen Anlagen/Pumpen können Drücke unter 1E-10 mbar
erreicht werden. Damit dauert es ca. 1-10 Stunden bis jedes Oberflächenatom im Mittel von einem Restgasteilchen getroffen wird. Um diese Drücke zu erreichen,
muss die Kammer aus reinem Edelstahl gefertigt sein und nach dem Öffnen ausgeheizt werden, um möglichst viele Adsorbate von den Wänden zu lösen. Im Betrieb
werden unsere Kammern ununterbrochen von Turbomolekular-, Ionengetter- und Titan-Sublimationspumpen gepumpt.
